下(xia)降(jiang) 上升

相(xiang)對(dui)探針(zhen)的進(jin)給方向，探針(zhen)可(ke)以按照(zhao)測量物(wu)的形(xing)狀上升或下 降(jiang)的極(ji)限(xian)角度叫做跟(gen)蹤(zong)角度。探針(zhen)頂端(duan)角度為 12°的切(qie)面(mian)探 針(zhen) （圖） 時，上升角度 77°，下(xia)降(jiang)角度 87°，如(ru)果(guo)是(shi)圓(yuan)錐(zhui)形(xing)探針(zhen)

（30°圓(yuan)錐(zhui)） 的話，極(ji)限(xian)傾(qing)斜(xie)度(du)會(hui)變得(de)緩和(he)。表(biao)面(mian)上看(kan)雖然是 77°， 但(dan)是(shi)，受(shou)上行(xing)斜(xie)面(mian)表(biao)面(mian)粗(cu)糙度(du)的影(ying)響，會(hui)部分存在(zai) 77°以(yi)上 的斜(xie)面(mian)，測力(li)也會(hui)受(shou)到影(ying)響。

■探針(zhen)半(ban)徑(jing)補正(zheng)

根(gen)據(ju)探針(zhen)的頂端(duan)半(ban)徑(jing) （0.025mm），記錄(lu)圖形(xing)會成為在(zai)測量物(wu)表(biao) 面(mian)上滾動(dong)的球(qiu)體的中(zhong)心軌(gui)跡。通(tong)過(guo)對這(zhe)壹探針(zhen)的頂端(duan)半(ban)徑(jing)進(jin) 行(xing)數(shu)據(ju)處理上的補正(zheng)，可(ke)以(yi)得(de)到的測量值(zhi)和形(xing)狀記錄(lu)。

探針(zhen)

記錄(lu)圖形(xing)

測量物(wu)的輪廓(kuo)

r：  探針(zhen)半(ban)徑(jing)

M：測量倍(bei)率

用記錄(lu)計(ji)從(cong)模(mo)板(ban)和(he)刻(ke)度上讀取輪廓(kuo)形(xing)狀時，需(xu)要(yao)根(gen)據(ju)測量倍(bei) 率預(yu)先(xian)補正(zheng)測頭(tou)半(ban)徑(jing)值(zhi)。

■圓(yuan)弧(hu)變形(xing)

測頭(tou)做(zuo)圓(yuan)弧(hu)運動(dong)時，會(hui)在(zai)記錄(lu)圖形(xing)的 X 軸方向上出(chu)現(xian)變形(xing)誤(wu) 差(cha)。補正(zheng)圓(yuan)弧(hu)變形(xing)的手(shou)段(duan)有

①機(ji)械(xie)補正(zheng)方(fang)法(fa)

②電(dian)子補正(zheng)方(fang)法(fa)

■精(jing)度

與模(mo)擬(ni)記錄(lu)計(ji)的全(quan)刻(ke)度作比(bi)較，多用 ±% 來表(biao)示(shi)。

（例） 倍(bei)率精度 （精(jing)度）　　 Z 軸 ±0.25% ／全(quan)刻(ke)度

　　A3 模擬(ni)記錄(lu)

　　（250mm 是(shi) A3 復(fu)印(yin)紙的縱向(xiang)長(chang)度(du)）

假 設 記 錄(lu) 紙(zhi) 上 誤(wu) 差(cha) 為 ±0.625mm， 測 量 倍(bei) 率 為 10 倍(bei)， 那(na) 麽， 讀取值(zhi)則為 0.625mm/10。

※如果(guo)是用(yong)數(shu)據(ju)處理裝置(zhi)進(jin)行(xing)解(jie)析(xi)，並(bing)且(qie) Z 軸檢測裝置(zhi)上內(nei)

置(zhi)光柵尺(chi)的機(ji)型(xing) （CV-H, CV 系列(lie)），那(na)麽倍(bei)率精度的顯(xian)示(shi)就(jiu)不是(shi) 百分比(bi)，而是光柵尺(chi) （X 軸、Z 軸） 各(ge)自(zi)的指(zhi)示(shi)精(jing)度(du)。

■安(an)全(quan)裝置(zhi) 由(you)於輪廓(kuo)形(xing)狀的斜(xie)面(mian)角度大(da)或者(zhe)有毛刺存在(zai)，探針(zhen)頂端(duan)出(chu)現(xian) 超(chao)負(fu)荷時，為了(le)防止(zhi)探針(zhen)損傷，可以自(zi)動(dong)停止(zhi)運轉(zhuan)，並(bing)發出(chu) 蜂(feng)鳴(ming)警報(bao)。壹(yi)般按(an)進(jin)給方向 （X 軸方向） 的負(fu)荷和(he)上下(xia)方(fang)向 （Z 軸方向） 的負(fu)荷分別(bie)裝備。

■圓(yuan)弧(hu)運動(dong)、直(zhi)線(xian)運動(dong) 這(zhe)是探針(zhen)上下(xia)動(dong)作時，測頭(tou)劃出(chu)的軌(gui)跡(ji)，有圓(yuan)弧(hu)和直(zhi)線(xian)兩(liang)種(zhong)。 做(zuo)直(zhi)線(xian)運動(dong)時，機(ji)械(xie)構(gou)造(zao)復(fu)雜(za)，做(zuo)圓(yuan)弧(hu)運動(dong)時，探針(zhen)的上下(xia) 移動(dong)量較大(da)，會由(you)於圓(yuan)弧(hu)變形(xing) （    ） 而導(dao)致記錄(lu)圖形(xing)出(chu)現(xian)誤(wu)差(cha)。

（參(can)照(zhao)左(zuo)下圖）

■ Z 軸檢測方式

X 軸驅(qu)動(dong)檢測壹般使用數(shu)字光柵尺(chi)進(jin)行(xing)檢測。Z 軸檢測方式有 模擬(ni)方(fang)式 （差(cha)動(dong)變壓器(qi)） 和(he)數(shu)字光柵尺(chi)方式兩(liang)種(zhong)。

模(mo) 擬(ni) 方(fang) 式 中(zhong)，Z 軸 分 辨 率 會 隨 測 量 倍(bei) 率 和 測 量 範 圍 而 變 化(hua)。 數字(zi)光柵尺(chi)方式隨光柵尺(chi)的分辨率。壹般來說(shuo)，數(shu)字(zi)光柵尺(chi)

方式精度較(jiao)高(gao)。

探針(zhen)

測量臂

支點

圓(yuan)弧(hu)變形(xing)

③有通過(guo)軟(ruan)件(jian)演算(suan)來補正(zheng)的方(fang)法(fa)。在(zai)對(dui)上下(xia)方(fang)向上移動(dong)量較大(da)

的測量物(wu)進(jin)行(xing)高(gao)精度(du)測量時，需(xu)要(yao)補正(zheng)圓(yuan)弧(hu)變形(xing)。