將表面粗糙度(du)比較樣(yang)塊(kuai)，根(gen)據(ju)視(shi)覺(jiao)和觸覺(jiao)與(yu)被測(ce)表面比(bi)較，判斷被測(ce)表面粗糙度(du)相當於(yu)那壹數(shu)值(zhi)，或(huo)測(ce)量(liang)其(qi)反(fan)射(she)光強變化(hua)來(lai)評定表面粗糙度(du)。樣(yang)塊(kuai)是(shi)壹(yi)套(tao)具有(you)平面(mian)或(huo)圓(yuan)柱表面的(de)金屬塊(kuai)，表面經(jing)磨(mo)、車、鏜、銑(xi)、刨(pao)等切(qie)削(xue)加工(gong)，電(dian)鑄(zhu)或(huo)其(qi)他鑄造工(gong)藝等(deng)加工(gong)而(er)具(ju)有不同的(de)表面粗糙度(du)。有時可(ke)直接(jie)從工(gong)件(jian)中(zhong)選出樣(yang)品(pin)經(jing)過(guo)測(ce)量(liang)並(bing)評定合格後作為(wei)樣(yang)塊(kuai)。

      利(li)用樣(yang)塊(kuai)根(gen)據(ju)視(shi)覺(jiao)和觸覺(jiao)評定表面粗糙度(du)的方法雖(sui)然簡便(bian)，但會受(shou)到(dao)主(zhu)觀因(yin)素(su)影響，常不能得出正確的表面粗糙度(du)數值(zhi)。觸(chu)針法(fa)利用針尖(jian)曲率半(ban)徑(jing)為(wei) 2微(wei)米(mi)左右(you)的(de)金剛石(shi)觸(chu)針(zhen)沿(yan)被測(ce)表面緩(huan)慢滑(hua)行，金剛石(shi)觸(chu)針(zhen)的(de)上下(xia)位(wei)移量(liang)由電(dian)學式長度(du)傳感器(qi)轉換(huan)為(wei)電(dian)信(xin)號(hao)，經(jing)放大、濾(lv)波(bo)、計(ji)算後由(you)顯示(shi)儀表指示(shi)出表面粗糙度(du)數值(zhi)，也可(ke)用記錄器(qi)記錄被測(ce)截面(mian)輪廓曲線。壹(yi)般(ban)將僅能(neng)顯(xian)示表面粗糙度(du)數值(zhi)的(de)測(ce)量(liang)工(gong)具(ju)稱為(wei)表面粗糙度(du)測(ce)量(liang)儀(yi)，同(tong)時能(neng)記錄表面輪廓曲線的(de)稱為(wei)表面粗糙度(du)輪廓儀(yi)（簡稱輪廓儀(yi)），這(zhe)兩(liang)種(zhong)測(ce)量(liang)工(gong)具(ju)都(dou)有電(dian)子(zi)計(ji)算電(dian)路(lu)或(huo)電(dian)子(zi)計(ji)算機(ji)，它能自(zi)動計(ji)算出輪廓算術(shu)平(ping)均(jun)偏差(cha)Rα，微(wei)觀(guan)不平度(du)十點(dian)高(gao)度(du)RZ，輪廓最(zui)大高(gao)度(du)Ry和其他多種(zhong)評(ping)定參數，測(ce)量(liang)效(xiao)率(lv)高(gao)，適用於(yu)測(ce)量(liang)Rα為(wei)0.025～6.3微(wei)米(mi)的表面粗糙度(du)。

       光切(qie)法(fa)光線通過(guo)狹縫(feng)後形(xing)成的(de)光帶投射(she)到(dao)被測(ce)表面上，以(yi)它與(yu)被測(ce)表面的(de)交(jiao)線所(suo)形(xing)成的(de)輪廓曲線來(lai)測(ce)量(liang)表面粗糙度(du)。由光源(yuan)射(she)出的(de)光經聚光鏡、狹縫(feng)、物鏡1後，以45°的傾(qing)斜(xie)角(jiao)將狹(xia)縫(feng)投影(ying)到(dao)被測(ce)表面，形(xing)成被測(ce)表面的(de)截面(mian)輪廓圖(tu)形(xing)，然(ran)後(hou)通過(guo)物鏡 2將此圖形(xing)放大後(hou)投射(she)到(dao)分(fen)劃板(ban)上。利(li)用測(ce)微(wei)目(mu)鏡和讀(du)數鼓(gu)輪，先讀(du)出h值(zhi)，計(ji)算後得到(dao)H 值(zhi)。應(ying)用此法的(de)表面粗糙度(du)測(ce)量(liang)工(gong)具(ju)稱為(wei)光切(qie)顯(xian)微(wei)鏡。它適用於(yu)測(ce)量(liang)RZ和Ry為(wei)0.8～100微(wei)米(mi)的表面粗糙度(du)，需要(yao)人工取點(dian)，測(ce)量(liang)效(xiao)率(lv)低。幹涉(she)法(fa)利(li)用光波幹涉(she)原(yuan)理(li) (見(jian)平(ping)晶、激(ji)光測(ce)長(chang)技(ji)術(shu))將被測(ce)表面的(de)形(xing)狀(zhuang)誤差(cha)以(yi)幹涉(she)條(tiao)紋(wen)圖形(xing)顯(xian)示(shi)出來(lai)，並(bing)利用放大倍(bei)數(shu)高(gao) （可達(da)500倍(bei)）的(de)顯(xian)微(wei)鏡將這(zhe)些(xie)幹涉(she)條(tiao)紋(wen)的微(wei)觀(guan)部分放大後(hou)進(jin)行測(ce)量(liang)，以(yi)得出被測(ce)表面粗糙度(du)。

       應(ying)用此法的(de)表面粗糙度(du)測(ce)量(liang)工(gong)具(ju)稱為(wei)幹(gan)涉(she)顯(xian)微(wei)鏡。這種(zhong)方法適用於(yu)測(ce)量(liang)Rz和Ry為(wei) 0.025～0.8微(wei)米(mi)的表面粗糙度(du)。